節能型長晶設備電源阻抗匹配元件
技術特色
高轉換效率且熱管理最佳化之中頻變壓器,10kHz交換式功率實現99%轉換效率,適用先進電力與節能感應加熱。
技術說明
化合物半導體長晶設備利用感應加熱技術進行高溫製程,其整流逆變電路所產生之高頻交變磁場,對阻抗匹配模組轉換效率有高度依賴,進而影響整體能耗。本次展示之中頻變壓器專為此應用設計,具備電路隔離與阻抗匹配雙重功能,於設計階段即導入CAE磁熱場模擬進行幾何優化,並採用國產高品質軟磁性磁芯與銅箔疊層繞組,大幅提升熱管理效率。在10kHz頻率之交流功率下,轉換效率可達99%,額定功率為150kW。而未來將朝向電感-變壓器一體化設計發展,提升系統對負載變動的適應性。此技術亦具潛力延伸至資料中心、智慧電網、電動車無線充電等高功率應用領域。
(合作單位:高科大電機系 辜德典教授、王勇賜)
技術聯絡人
姓名:洪忠欽
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